氢和硼离子轰击可消除(001)面多晶金刚石膜的空位缺陷
来源期刊：功能材料与器件学报2001年第3期
论文作者：史伟民 夏义本 八百隆文 王林军 居建华
关键词：穿透效应; 轰击; 阴极发光;
摘 要：在微波等离子体化学气相沉积金刚石膜时，采用负偏压使氢和硼离子轰击金刚石膜表面。发现单纯的氢离子的轰击会导致表面刻蚀，可使(001)面颗粒尺寸增大。用扫描电镜（SEM）和阴极发射光谱（CL）分析了硼离子掺杂后[001]取向的金刚石膜表面，发现CL中A峰消失，表明薄膜中位错密度降低。首次发现CL谱中741.5nm峰和575nm到625nm宽峰明显下降，表明在金刚石膜中,中性空位和氮空位缺陷基本消失,利用小原子穿透理论解释了这个现象。
史伟民1，夏义本1，八百隆文2，王林军1，居建华1
(1.上海大学材料科学与工程学院,;
2.东北大学材料研究所,)
摘要:在微波等离子体化学气相沉积金刚石膜时，采用负偏压使氢和硼离子轰击金刚石膜表面。发现单纯的氢离子的轰击会导致表面刻蚀，可使(001)面颗粒尺寸增大。用扫描电镜（SEM）和阴极发射光谱（CL）分析了硼离子掺杂后[001]取向的金刚石膜表面，发现CL中A峰消失，表明薄膜中位错密度降低。首次发现CL谱中741.5nm峰和575nm到625nm宽峰明显下降，表明在金刚石膜中,中性空位和氮空位缺陷基本消失,利用小原子穿透理论解释了这个现象。
关键词:穿透效应; 轰击; 阴极发光;
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