燃烧化学沉积纳米α-Al2O3薄膜及晶化处理
来源期刊：无机材料学报2001年第6期
论文作者：周有强 付跃文 张增志
关键词：纳米陶瓷; 燃烧化学; 沉积技术; α-Al2O3;
摘 要：提出了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法-燃烧化学沉积法.该方法省去了真空条件,直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜.其主要特点是将配制好的初始液体雾化,让该液雾穿过高温火焰流体.初始液体在火焰流中发生化学反应,并形成反应火焰流,该反应火焰流体系在火焰流的前方基底上沉积出纳米陶瓷薄膜,然后再通过热处理进行晶化处理,使形成晶态相.本文以制备α-Al2O3纳米薄膜为例,介绍用该方法的制备过程,并用SEM和TEM分析了α-Al2O3纳米薄膜的显微形貌和结构.
周有强1，付跃文1，张增志1
(1.中国矿业大学北京校区,)
摘要:提出了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法-燃烧化学沉积法.该方法省去了真空条件,直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜.其主要特点是将配制好的初始液体雾化,让该液雾穿过高温火焰流体.初始液体在火焰流中发生化学反应,并形成反应火焰流,该反应火焰流体系在火焰流的前方基底上沉积出纳米陶瓷薄膜,然后再通过热处理进行晶化处理,使形成晶态相.本文以制备α-Al2O3纳米薄膜为例,介绍用该方法的制备过程,并用SEM和TEM分析了α-Al2O3纳米薄膜的显微形貌和结构.
关键词:纳米陶瓷; 燃烧化学; 沉积技术; α-Al2O3;
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