W和W/Ti合金靶材的应用及其制备技术
来源期刊：粉末冶金技术2009年第1期
论文作者：范志康 王庆相
关键词：靶材; 应用; 制备技术;
摘 要：近年来随着磁控溅射技术的应用日趋广泛,对各种高纯金属及合金溅射靶材的需求量也愈来愈大.本文简要介绍了当前W和W/Ti合金靶材的应用和制备方法等,对W和W/Ti合金靶材未来的制备技术进行了展望.
范志康1，王庆相1
(1.西安理工大学材料科学与工程学院,西安,710048)
摘要:近年来随着磁控溅射技术的应用日趋广泛,对各种高纯金属及合金溅射靶材的需求量也愈来愈大.本文简要介绍了当前W和W/Ti合金靶材的应用和制备方法等,对W和W/Ti合金靶材未来的制备技术进行了展望.
关键词:靶材; 应用; 制备技术;
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