磁控共溅射制备锆-硅-氮复合薄膜的显微组织与性能

来源期刊：机械工程材料2008年第9期

论文作者：董松涛 喻利花 董师润 许俊华

文章页码：54 - 58

关键词：锆-硅-氮复合薄膜;显微组织;抗氧化性能;力学性能;

摘    要：通过磁控共溅射方法制备了一系列不同硅含量的锆-硅-氮复合薄膜;采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜和微力学探针等对复合薄膜进行了表征;研究了薄膜中硅、锆原子比对复合薄膜的显微组织、高温抗氧化性能和力学性能的影响。结果表明:随着硅含量的增加,复合薄膜的ZrN（111）、（220）晶面衍射峰逐渐消失,呈现ZrN（200）择优取向;同时其性能逐渐提高,当硅、锆原子比为0.030时可获得最大硬度和最大弹性模量,分别为37.8 GPa和363 GPa;进一步增加硅含量,复合薄膜向非晶态转化,而薄膜的硬度和弹性模量迅速降低,抗氧化温度显著提高。