钛酸锶薄膜的制备与应用研究进展
来源期刊：材料开发与应用2011年第1期
论文作者：常亮亮 殷明志 杨亮亮
文章页码：51 - 55
关键词：钛酸锶;制备技术;
摘 要：介绍了钛酸锶（STO）薄膜的五种制备方法（等离子体增强化学气相淀积、射频磁控溅射、金属有机化学气相沉积、脉冲激光沉积、溶胶?凝胶）及STO薄膜在电容-电压敏双功能材料、CMOS器件、氧敏材料、PZT铁电薄膜电极材料等方面的应用的研究进展。提出了需进一步开展的研究课题如:晶粒晶界控制、界面控制、漏电导机制、疲劳机制、非线性效应及大面积高质量薄膜的制备技术等。
常亮亮，殷明志，杨亮亮
西北工业大学理学院
摘 要：介绍了钛酸锶（STO）薄膜的五种制备方法（等离子体增强化学气相淀积、射频磁控溅射、金属有机化学气相沉积、脉冲激光沉积、溶胶?凝胶）及STO薄膜在电容-电压敏双功能材料、CMOS器件、氧敏材料、PZT铁电薄膜电极材料等方面的应用的研究进展。提出了需进一步开展的研究课题如:晶粒晶界控制、界面控制、漏电导机制、疲劳机制、非线性效应及大面积高质量薄膜的制备技术等。
关键词：钛酸锶;制备技术;
