TiO2纳米微晶的RF-PCVD法制备及表征
来源期刊：材料科学与工艺2005年第4期
论文作者：陈新谋 孙彦平 徐海萍 王俊文
关键词：纳米微晶; TiO2; RF-PVCD; 制备; 表征;
摘 要：以TiCl4为原料,采用高频等离子化学气相沉积(RF-PCVD)法制备了TiO2纳米微晶,考察了控制粒径大小及晶相转化的关键操作条件.借助XPS、TEM、XRD、BET等技术对颗粒的化学组成、形貌、晶相结构等进行了表征.研究表明:所得TiO2纳米微晶大部分为球形体颗粒,粒径30～50 nm,单分散性良好;颗粒中锐钛相和金红石相两相共存,结晶完整;金红石相含量在26.7%～53.6%之间可调.
陈新谋1，孙彦平2，徐海萍2，王俊文2
(1.石家庄新谋新科技开发有限公司,河北,石家庄,050091;
2.太原理工大学,洁净化工研究所,山西,太原,030024)
摘要:以TiCl4为原料,采用高频等离子化学气相沉积(RF-PCVD)法制备了TiO2纳米微晶,考察了控制粒径大小及晶相转化的关键操作条件.借助XPS、TEM、XRD、BET等技术对颗粒的化学组成、形貌、晶相结构等进行了表征.研究表明:所得TiO2纳米微晶大部分为球形体颗粒,粒径30～50 nm,单分散性良好;颗粒中锐钛相和金红石相两相共存,结晶完整;金红石相含量在26.7%～53.6%之间可调.
关键词:纳米微晶; TiO2; RF-PVCD; 制备; 表征;
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