Au/NiCr/Ta多层金属膜择优取向与残余应力的关系
来源期刊：金属学报2002年第9期
论文作者：徐可为 唐武 王平 李弦
关键词：Au/NiCr/Ta膜; 择优取向; 残余应力;
摘 要：研究了Au/NiCr/Ta多层金属膜的择优取向、残余应力以及它们之间的关系.结果表明,在实验范围内,残余应力随沉积温度变化不大,沉积态薄膜均表现为残余拉应力,经400℃Ar气中退火60 min转变为压应力.相应出现(111)与(200)衍射峰相对强度比值减小.Au(200)取向增加时,倾向为压应力,择优取向最大时有最低的平均残余压应力;Au(111)择优取向最大时有最高的平均残余拉应力;说明Au膜的择优取向和残余应力状态存在一定的联系.
徐可为1，唐武1，王平2，李弦2
(1.西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049;
2.西安空间无线电技术研究所,西安,710000)
摘要:研究了Au/NiCr/Ta多层金属膜的择优取向、残余应力以及它们之间的关系.结果表明,在实验范围内,残余应力随沉积温度变化不大,沉积态薄膜均表现为残余拉应力,经400℃Ar气中退火60 min转变为压应力.相应出现(111)与(200)衍射峰相对强度比值减小.Au(200)取向增加时,倾向为压应力,择优取向最大时有最低的平均残余压应力;Au(111)择优取向最大时有最高的平均残余拉应力;说明Au膜的择优取向和残余应力状态存在一定的联系.
关键词:Au/NiCr/Ta膜; 择优取向; 残余应力;
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