退火Cu-W薄膜组织结构与残余应力
来源期刊：稀有金属材料与工程2007年第3期
论文作者：徐可为 李晓华 汪渊 宋忠孝 尉秀英
关键词：Cu-W薄膜; 相变; 残余应力; 真空退火;
摘 要：以不同温度真空原位退火工艺为手段,促使制备在单晶Si(100)和Al2O3基底上的Cu-W薄膜发生相变.用X射线衍射(XRD)分析晶体取向,偏振相位移技术分析薄膜残余应力.结果表明,随退火温度变化,薄膜相变呈现连续变化,由初始的非晶态晶化,出现类W的亚稳态固溶体相,以及随退火温度的进一步增加,发生Spinodal分解,亚稳固溶体完全分解为W和Cu两相.薄膜发生相变时产生拉应力作用,而在晶粒生长阶段,拉应力释放.
徐可为1，李晓华2，汪渊3，宋忠孝1，尉秀英3
(1.西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,陕西,西安,710049;
2.北京工业大学信号与信息处理研究室,北京,100022;
3.北京有色金属研究总院能源材料与技术研究中心,北京,100088)
摘要:以不同温度真空原位退火工艺为手段,促使制备在单晶Si(100)和Al2O3基底上的Cu-W薄膜发生相变.用X射线衍射(XRD)分析晶体取向,偏振相位移技术分析薄膜残余应力.结果表明,随退火温度变化,薄膜相变呈现连续变化,由初始的非晶态晶化,出现类W的亚稳态固溶体相,以及随退火温度的进一步增加,发生Spinodal分解,亚稳固溶体完全分解为W和Cu两相.薄膜发生相变时产生拉应力作用,而在晶粒生长阶段,拉应力释放.
关键词:Cu-W薄膜; 相变; 残余应力; 真空退火;
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