工艺条件对金刚石膜红外透射率影响的研究
来源期刊：材料科学与工艺2010年第3期
论文作者：王鸿翔 左敦稳 卢文壮 徐峰
文章页码：322 - 325
关键词：CVD;金刚石膜;红外透射率;工艺条件;
摘 要：为了优化金刚石沉积工艺,制备高透射率的CVD金刚石薄膜,采用傅里叶红外光谱仪对不同工艺条件下制备的CVD金刚石膜的红外透射率进行了测量,分析了不同工艺条件对金刚石膜红外透射率的影响,获得了最佳沉积参数.结果表明,金刚石膜的红外透射率与工艺条件密切相关,当衬底温度为750℃,碳源体积分数为2%,压强为2.5kPa时沉积的金刚石膜红外透射率最佳.
王鸿翔1,2，左敦稳1，卢文壮1，徐峰1
1. 南京航空航天大学机电学院2. 淮安信息职业技术学院机电工程系
摘 要：为了优化金刚石沉积工艺,制备高透射率的CVD金刚石薄膜,采用傅里叶红外光谱仪对不同工艺条件下制备的CVD金刚石膜的红外透射率进行了测量,分析了不同工艺条件对金刚石膜红外透射率的影响,获得了最佳沉积参数.结果表明,金刚石膜的红外透射率与工艺条件密切相关,当衬底温度为750℃,碳源体积分数为2%,压强为2.5kPa时沉积的金刚石膜红外透射率最佳.
关键词：CVD;金刚石膜;红外透射率;工艺条件;
