铟锡氧化物(ITO)前驱体的相演变规律研究

廖红卫¹

(1.长沙理工大学,材料科学与工程系,湖南,长沙,410045)

摘要:采用共沉淀法制备了立方结构氢氧化铟(In(OH)3)和四方结构氧化铟氢氧化物(InOOH)2种前驱体.利用X射线衍射、热重和差热分析以及等温热处理,对立方结构In(OH)3和四方结构InOOH向萤石型结构铟锡氧化物(ITO)固溶体以及刚玉型结构ITO固溶体的相演变规律进行了系统的研究.立方结构In(OH)3向萤石型结构ITO固溶体的转变起始于150 ℃,在300 ℃左右转变完全并且表现为一种吸热行为.四方结构InOOH向刚玉型结构ITO固溶体转变起始于220 ℃并且终止于430 ℃.此外,四方结构InOOH向刚玉型结构ITO固溶体的转变包含2个子过程,一个表现为吸热行为的InOOH脱水过程,另一个表现为强烈放热行为的InOOH脱水产物向刚玉型结构ITO固溶体的转变过程.刚玉型结构ITO固溶体在空气中处于亚稳态,并且在加热的条件下可以转变为萤石型结构ITO固溶体.刚玉型结构ITO固溶体向萤石型结构ITO固溶体的转变起始于578 ℃,在800 ℃以前转变终止并且表现为一种弱吸热行为.

关键词:铟锡氧化物(ITO); 前驱体; 相演变规律;

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