二氧化锡薄膜的电阻气敏和光透射率气敏性能

汤庭鳌¹，姚熹²，姜国宝¹，林殷茵¹，黄维宁¹

(1.上海复旦大学电子工程系微电子所，上海200433;
2.西安交通大学电子材料研究所，西安710049)

摘要:以无机盐为原料，采用新颖的溶胶-凝胶工艺制备了具有优良电阻-气敏性能的纳米晶二氧化锡薄膜，其在最佳工作温度200℃对600ppm CO的灵敏度可达500，响应时间和恢复时间分别为13s和20s．进一步研究了薄膜的光透射率 -气敏性能，发现当通CO时，透射率下降，最佳工作温度与电阻 -气敏性能一致，当提高薄膜的退火温度时，电阻-气敏和光透射率-气敏的灵敏度均下降．分析了产生这些现象的原因．

关键词:薄膜; 二氧化锡; 气敏; 透射率; 溶胶-凝胶; thin film; SnO2; gas sensitive; transmittance; sol-gel method;

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