S136不锈钢基体溅射氮化铬薄膜的硬度和接触角
来源期刊：机械工程材料2013年第12期
论文作者：王翠凤 邱锡荣 康爱军 梁家豪 黄文荣
文章页码：21 - 26
关键词：CrN薄膜;接触角;S136不锈钢;
摘 要：在不同的S136不锈钢基体上溅射制备了氮化铬（CrN）薄膜,通过接触角的测量、硬度测试、扫描电子显微镜观察及X射线衍射分析等方法研究了基材的组织、方向性、表面粗糙度、表面机械加工方法及溅射偏压对CrN薄膜接触角和硬度的影响。结果表明:在溅射功率300 W、施加-120V偏压、氩气和氮气流量比9∶1溅射条件下,可得到Cr2N单相薄膜,呈现（111）面择优取向;溅射CrN薄膜显著提高S136不锈钢表面硬度和接触角;溅射时施加负偏压的CrN薄膜接触角明显大于未施加的;基材杂质少、碳化物细小、研磨后抛光、施加负偏压的纵向试样溅射CrN薄膜后硬度较高（1 177HV）、接触角较大（98.77°）。
王翠凤1，邱锡荣2，康爱军3，梁家豪2，黄文荣2
1. 福建信息职业技术学院2. 高雄应用科技大学模具工程系3. 东北特殊钢集团技术中心工模具钢研究室
摘 要：在不同的S136不锈钢基体上溅射制备了氮化铬（CrN）薄膜,通过接触角的测量、硬度测试、扫描电子显微镜观察及X射线衍射分析等方法研究了基材的组织、方向性、表面粗糙度、表面机械加工方法及溅射偏压对CrN薄膜接触角和硬度的影响。结果表明:在溅射功率300 W、施加-120V偏压、氩气和氮气流量比9∶1溅射条件下,可得到Cr2N单相薄膜,呈现（111）面择优取向;溅射CrN薄膜显著提高S136不锈钢表面硬度和接触角;溅射时施加负偏压的CrN薄膜接触角明显大于未施加的;基材杂质少、碳化物细小、研磨后抛光、施加负偏压的纵向试样溅射CrN薄膜后硬度较高（1 177HV）、接触角较大（98.77°）。
关键词：CrN薄膜;接触角;S136不锈钢;
