基于Matlab的划片机自动对准系统的研究
来源期刊：机械设计与制造2012年第5期
论文作者：杨伟伟 肖民
文章页码：96 - 98
关键词：划片机;自动对准;图像处理;模板匹配;
摘 要：分析了划片机自动对准系统的构成和工作原理,提出模板匹配的简化算法,从边缘检测处理后的图像中提取晶圆切道,通过直线拟合得到晶圆切道中心线,完成晶圆的定位。Matlab的仿真与实验结果表明,该自动对准方案能有效地识别晶圆中的切道,确定切道的位置偏差,满足晶圆自动对准的技术要求。
杨伟伟，肖民
华东理工大学机械与动力工程学院
摘 要：分析了划片机自动对准系统的构成和工作原理,提出模板匹配的简化算法,从边缘检测处理后的图像中提取晶圆切道,通过直线拟合得到晶圆切道中心线,完成晶圆的定位。Matlab的仿真与实验结果表明,该自动对准方案能有效地识别晶圆中的切道,确定切道的位置偏差,满足晶圆自动对准的技术要求。
关键词：划片机;自动对准;图像处理;模板匹配;
