钨丝微电极阵列的简易制备方法
来源期刊：功能材料与器件学报2009年第1期
论文作者：赵建龙 姚源 隋晓红 朱壮晖 周洪波 李刚 张华 孙晓娜
关键词：微细加工; 钨丝; 微电极阵列; 神经探针; 双面光刻;
摘 要：本文提出了一种简易、低成本的钨丝微电极阵列制作工艺和方法.该方法采用MEMS工艺制作的玻璃模具实现钨丝阵列的精密有序排列,同时,在钨丝电极表面涂覆一层光敏性的聚酰亚胺作为绝缘层,结合"双面光刻"技术和电化学腐蚀技术实现电极位点大小和电极丝几何尺寸的精确控制.最后,通过注模、光刻制作SU-8固定座体完成钨丝微电极阵列的组装固定.整个制作工艺简单快速,且玻璃模具可重复使用,大大降低了制作成本.此外,本文还测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性.
赵建龙1，姚源1，隋晓红3，朱壮晖1，周洪波1，李刚1，张华1，孙晓娜1
(1.中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;
2.中国科学院研究生院,北京,100039;
3.上海交通大学,激光与生物医学研究所,上海,200030)
摘要:本文提出了一种简易、低成本的钨丝微电极阵列制作工艺和方法.该方法采用MEMS工艺制作的玻璃模具实现钨丝阵列的精密有序排列,同时,在钨丝电极表面涂覆一层光敏性的聚酰亚胺作为绝缘层,结合"双面光刻"技术和电化学腐蚀技术实现电极位点大小和电极丝几何尺寸的精确控制.最后,通过注模、光刻制作SU-8固定座体完成钨丝微电极阵列的组装固定.整个制作工艺简单快速,且玻璃模具可重复使用,大大降低了制作成本.此外,本文还测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性.
关键词:微细加工; 钨丝; 微电极阵列; 神经探针; 双面光刻;
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