沉积温度对TiB2涂层的组成与形貌的影响
来源期刊：航空材料学报2009年第3期
论文作者：陈大军 李忠盛 何庆兵 孙彩云 张隆平 吴护林
关键词：TiB2; 化学气相沉积; 涂层形貌; 物相组成;
摘 要：利用TiCl4-BCl3 -H2-Ar反应体系,用化学气相沉积法(CVD)在石墨基体上沉积了TiB2涂层,并对涂层的物相、沉积速率、微观结构、表面形貌进行了分析.结果表明:沉积的涂层物相由TiB2组成.随着沉积温度的提高,沉积速率加快,涂层的显微硬度先增加后降低,950℃时达到最大值.沉积温度的升高,TiB2涂层颗粒尺寸明显增大,在900℃～950℃范围内能沉积出结构致密、颗粒尺寸适合的TiB2涂层.分析了TiB2涂层的沉积机理.
陈大军1，李忠盛1，何庆兵1，孙彩云1，张隆平1，吴护林1
(1.中国兵器工业第五九研究所,重庆,400039)
摘要:利用TiCl4-BCl3 -H2-Ar反应体系,用化学气相沉积法(CVD)在石墨基体上沉积了TiB2涂层,并对涂层的物相、沉积速率、微观结构、表面形貌进行了分析.结果表明:沉积的涂层物相由TiB2组成.随着沉积温度的提高,沉积速率加快,涂层的显微硬度先增加后降低,950℃时达到最大值.沉积温度的升高,TiB2涂层颗粒尺寸明显增大,在900℃～950℃范围内能沉积出结构致密、颗粒尺寸适合的TiB2涂层.分析了TiB2涂层的沉积机理.
关键词:TiB2; 化学气相沉积; 涂层形貌; 物相组成;
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