柔性衬底上AZO薄膜的附着力特性研究

曹培江^1,2，赖国霞²，柳文军²，贾芳²，朱德亮²，马晓翠²，吕有明²

1. 深圳大学材料学院深圳市传感器技术重点实验室2. 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室

摘 要：使用脉冲激光沉积（PLD）方法在柔性衬底PMMA和PET上制备了具有高c轴择优取向的AZO（ZnO∶Al）薄膜。通过X射线衍射（XRD）、紫外可见分光光度计（UV-Vis）和纳米划痕仪,研究了在不同衬底下生长的薄膜样品的晶体结构、光学性能和附着力。结果表明,两种柔性衬底上生长的AZO薄膜都是单一的ZnO六方相,可见光范围内光学透过率均大于85%;PMMA、PET衬底上AZO薄膜的临界载荷数值分别为31.31mN和16.97mN,PET衬底上ITO薄膜的临界载荷数值为40.55mN。

关键词：ZnO薄膜;脉冲激光沉积;附着力;