薄膜X射线应力分析的实验方法
来源期刊：理化检验物理分册2005年第9期
论文作者：刘毓舒
关键词：薄膜材料; X射线应力分析; 低掠入射X射线束; 三维定向模式; 测量方向;
摘 要：提出一种适用于薄膜材料X射线应力分析的试样三维定向模式,在X射线低掠入射的前提下允许按实验所需选择测量方向.高密勒指数晶面衍射和测量方向的合理选择有助于提高测量精度,也利于经典sin2ψ分析法实验线性关系的建立,从而简化了分析和计算程序.
刘毓舒1
(1.上海交通大学材料科学与工程学院,教育部高温材料及测试开放实验室,上海,200030)
摘要:提出一种适用于薄膜材料X射线应力分析的试样三维定向模式,在X射线低掠入射的前提下允许按实验所需选择测量方向.高密勒指数晶面衍射和测量方向的合理选择有助于提高测量精度,也利于经典sin2ψ分析法实验线性关系的建立,从而简化了分析和计算程序.
关键词:薄膜材料; X射线应力分析; 低掠入射X射线束; 三维定向模式; 测量方向;
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