TiAlON膜的研究现状与进展
来源期刊：材料保护2014年第12期
论文作者：张钧 蔡佳婧 张正贵
文章页码：42 - 52
关键词：TiAlON薄膜;组织结构;特性;研究现状;进展;
摘 要：对TiAlON薄膜的制备技术、组织结构及特性进行了综述,指出了膜层的性能优化方法与途径,展望了膜层未来的应用方向。
张钧，蔡佳婧，张正贵
沈阳大学机械工程学院
摘 要：对TiAlON薄膜的制备技术、组织结构及特性进行了综述,指出了膜层的性能优化方法与途径,展望了膜层未来的应用方向。
关键词：TiAlON薄膜;组织结构;特性;研究现状;进展;
