涂敷ZnO纳米线的石英晶体微天平的湿度敏感特性
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第3期
论文作者：江涛 周晓峰 刘伟景 张健 吕家云
关键词：纳米氧化锌; 石英晶体微天平; 相对湿度检测; 灵敏度;
摘 要：采用石英晶体微天平传感器电极上旋涂纳米氧化锌薄膜,构造湿度传感敏感元件,实现对湿度检测.介绍了检测系统的组成,纳米氧化锌的制备.通过DAQ数据采集卡和Labview软件实现数据的实时采集.实验结果表明旋涂纳米氧化锌薄膜的传感器频率随测试的相对湿度变化明显,用纳米氧化锌作为敏感元件检测湿度具有很高的灵敏度和重复性.
江涛1，周晓峰1，刘伟景1，张健1，吕家云1
(1.安徽巢湖学院,巢湖 238000;
2.华东师范大学电子系,上海 200062)
摘要:采用石英晶体微天平传感器电极上旋涂纳米氧化锌薄膜,构造湿度传感敏感元件,实现对湿度检测.介绍了检测系统的组成,纳米氧化锌的制备.通过DAQ数据采集卡和Labview软件实现数据的实时采集.实验结果表明旋涂纳米氧化锌薄膜的传感器频率随测试的相对湿度变化明显,用纳米氧化锌作为敏感元件检测湿度具有很高的灵敏度和重复性.
关键词:纳米氧化锌; 石英晶体微天平; 相对湿度检测; 灵敏度;
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