高支化碱溶性聚酯的合成及光成像研究

冯宗财¹，陈毅敏¹，杜春蕾²，陈波²，王跃川¹

(1.四川大学高分子材料科学与工程系,高分子材料工程国家重点实验室,四川,成都,610065;
2.中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610064)

摘要:通过1,2,4-苯三甲酸酐和环氧氯丙烷合成高支化碱溶性聚酯,再用丙烯酸与多官能团环氧树脂反应产物对高支化聚酯改性得到高支化碱溶性感光聚合物;研究了这类聚合物的碱溶性、感光性和光成像特性.探索了光致抗蚀剂的配方组成和成像因素.结果表明,以接枝引入15%改性多官能团环氧树脂配制的光致抗蚀剂综合性能最好,分辨率3μm以内(白光).

关键词:高支化聚酯; 丙烯酸; 多官能团环氧树脂; 光成像;

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