化学机械平坦化材料对蓝宝石抛光速率与粗糙度的影响

来源期刊：功能材料2016年第2期

论文作者：贾少华 刘玉岭 王辰伟 闫辰奇

文章页码：2242 - 4498

关键词：蓝宝石;CMP;活性剂;分散度;温度;

摘    要：采用自主研制的新型碱性蓝宝石抛光液,在蓝宝石化学机械平坦化过程中加入FA/O型非离子表面活性剂,该活性剂能够减小蓝宝石表面粗糙度,同时,在蓝宝石抛光速率下降不明显的情况下实现较高的凹凸去除速率差,有利于实现蓝宝石的全局平坦化。通过实验得到了碱性条件下抛光速率较高、粗糙度较小的最佳pH值。研究了等质量分数等粒径条件下磨料分散度以及抛光温度对抛光速率和蓝宝石表面粗糙度的影响。