氮流量比对直流反应磁控溅射制备氮化铬涂层组织和性能的影响
来源期刊：机械工程材料2010年第7期
论文作者：谈淑咏 张旭海 吴湘君 蒋建清
文章页码：34 - 37
关键词：直流磁控溅射;氮流量比;氮化铬涂层;
摘 要：采用直流磁控溅射法制备氮化铬涂层,研究了氮流量比对涂层相结构、表面形貌和硬度和涂层结合力的影响。结果表明:当氮流量比在30%～100%变化时,涂层主要由CrN相构成;随氮流量比增加,涂层晶粒形貌由三角锥转变为三角锥与球状共存,涂层变得致密,硬度得到提高;氮流量比对涂层结合力影响不大。
谈淑咏，张旭海，吴湘君，蒋建清
东南大学材料科学与工程学院江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室
摘 要：采用直流磁控溅射法制备氮化铬涂层,研究了氮流量比对涂层相结构、表面形貌和硬度和涂层结合力的影响。结果表明:当氮流量比在30%～100%变化时,涂层主要由CrN相构成;随氮流量比增加,涂层晶粒形貌由三角锥转变为三角锥与球状共存,涂层变得致密,硬度得到提高;氮流量比对涂层结合力影响不大。
关键词：直流磁控溅射;氮流量比;氮化铬涂层;
