辉光放电质谱法测定高纯金靶材中42种杂质元素

来源期刊：冶金分析2021年第2期

论文作者：王长华 墨淑敏 胡芳菲 李娜

关键词：辉光放电质谱法（GDMS）;电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）;高纯金靶材;杂质元素;

摘    要：高纯金靶材广泛应用于电子信息行业,靶材产品对其所含杂质元素含量有着极高要求,杂质元素含量偏高将影响其使用性能。对辉光放电质谱法（GDMS）放电电流、放电气体（氩气）流量和样品预溅射时间进行了优化,以丰度高、无干扰或干扰小为原则来选择待测同位素,同时通过选择分辨率来克服可能存在的质谱干扰,建立了GDMS测定高纯金靶材中Al、Mg、Fe等42种元素的分析方法。采用实验方法对高纯金靶材样品中42种杂质元素进行了测定,结果表明,对于质量分数大于100μg/kg杂质元素,测定结果的相对标准偏差（RSD）均小于10%,其余含量元素测定结果的RSD基本小于46%。由于缺乏高纯金标准物质,对含量相对较高的元素如Ca、Fe、Pd、Ag、Pt、Cr、Cu和Ni元素采用电感耦合等离子体质谱法（ICPMS）进行方法对照试验,实验方法与ICP-MS的测定结果基本保持一致。