B靶功率对ZrBN复合膜的微结构、力学性能及摩擦性能的影响

来源期刊：粉末冶金材料科学与工程2013年第5期

论文作者：喻利花 赵强 马冰洋 许俊华

文章页码：748 - 753

关键词：ZrBN复合膜;微结构;力学性能;摩擦性能;

摘    要：采用磁控溅射法,以不同的B靶功率(分别为24,30,60,90和120 W),在单晶硅(100)和不锈钢基底上制备一系列不同B含量的ZrBN复合膜,利用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪(CSM)和摩擦磨损试验机研究B靶功率对ZrBN复合膜的微结构、力学性能、以及室温和高温摩擦性能的影响。结果表明:当B靶功率低于30 W时,复合膜呈fcc ZrBN结构;当B靶功率高于30 W时,复合膜为fcc ZrBN和hcp ZrB2双相结构。当B靶功率为24 W时,复合膜的硬度和室温摩擦因数分别为29.3 GPa和0.75,随B靶功率增大,硬度和室温摩擦因数都逐渐减小。B靶功率为24 W时制备的ZrBN复合膜的摩擦因数随温度升高先减小后增大。同时,对ZrBN复合膜的摩擦机理进行探讨。