脉冲频率对锆薄膜表面形貌和结构的影响

来源期刊：材料研究学报2015年第6期

论文作者：刘伟 张晓红 刘锦华 梁建华 龙兴贵

文章页码：475 - 480

关键词：金属材料;锆薄膜;脉冲激光气相沉积;液滴;脉冲频率;

摘    要：用脉冲激光气相沉积法在金属钼基底上制备锆薄膜,并用SEM,AFM,XRD等手段分析薄膜表面形貌和晶体结构,研究了脉冲激光频率对薄膜表面形貌和晶体结构的影响。结果表明:随着激光脉冲频率的提高锆薄膜表面液滴数目增加,液滴尺寸增大,薄膜的沉积速率显著降低。薄膜表面的平均纳米颗粒尺寸,随着频率的提高呈现先增大后减小的规律。从XRD数据发现,较高的脉冲频率极大地促进了薄膜的结晶性生长;但是,频率变化对Zr薄膜晶体结构、晶面择优生长的影响并不明显,薄膜呈现典型的hcp结构且不随频率的变化改变。