太阳能多晶硅锭中夹杂的物相与分布特性

毛文行¹，周浪¹，邓太平¹，刘兵发¹，尹传强¹，杜国平¹

(1.南昌大学材料科学与工程学院/NCU-LDK太阳能研究中心,江西南昌,330031)

摘要:多晶硅锭中经常出现硬质夹杂颗粒,严重影响线切割硅片的表面质量,严重时造成硅片切割生产中断线.我们采用光学显微镜、扫描电镜特征X射线能谱仪、X射线衍射仪等手段对定向凝固多晶硅锭中的夹杂进行了分析.采用溶解硅基体后沉淀萃取的方法取得硅锭不同部位的夹杂.分析结果表明,硅锭中夹杂的物相主要有两种:β-SiC和β-Si3N4,SiC的数量较多;二者形貌有显著区别:前者呈不规则块状,而后者则呈平直杆状.硅锭的顶表面附近夹杂高度富集,但内部仍偶有大于100微米的较大的碳化硅夹杂颗粒出现.

关键词:太阳能; 多晶硅; 夹杂;

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