脉冲电沉积机理、动力学分析及其验证

张玉碧¹，高小丽²，王东哲¹，刘海定¹，李长荣³

1. 重庆仪表材料研究所国家仪表功能材料工程技术研究中心2. 重庆化工职业学院3. 北京科技大学材料科学与工程学院

摘 要：系统地论述了脉冲电沉积的机理及其动力学原理。根据脉冲电沉积的特点,将导通时间Ton分为形核沉积（+Ton/2）过程与晶粒长大（-Ton/2）过程,并进行了动力学分析。分析并经试验证明:Ton/Toff必须在一定的范围内协调成比例,脉冲导通时间Ton太大,容易造成浓差极化,导致晶粒的长大;脉冲关断时间Toff太大,造成非沉积时间过长,降低沉积效率;Ton和Toff越小,越有利于沉积层晶粒的细化,为一种新型的材料制造方法———脉冲电沉积提供了理论指导。

关键词：脉冲电沉积;机理;动力学;验证;