一种高成功率的薄膜截面TEM样品制备方法
来源期刊：理化检验物理分册2015年第4期
论文作者：尚海龙 戴嘉维 马冰洋 张安明 廉政 李荣斌 李戈扬
文章页码：256 - 524
关键词：薄膜;TEM;截面样品;样品制备;
摘 要：截面样品的制备是采用透射电镜(TEM)观察薄膜微结构的关键之一,该文分析了采用离子减薄法制备薄膜截面TEM样品成功率低的原因,并对原有方法进行了改进,提出了一种粘贴优半圆环遮挡单边离子束,防止待观察薄膜被正面轰击的薄膜截面TEM样品制备方法,该方法不仅操作简便,而且可大大提高制样成功率。
尚海龙1,2，戴嘉维2，马冰洋2，张安明2，廉政1，李荣斌1，李戈扬2
1. 上海电机学院机械学院2. 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
摘 要：截面样品的制备是采用透射电镜(TEM)观察薄膜微结构的关键之一,该文分析了采用离子减薄法制备薄膜截面TEM样品成功率低的原因,并对原有方法进行了改进,提出了一种粘贴优半圆环遮挡单边离子束,防止待观察薄膜被正面轰击的薄膜截面TEM样品制备方法,该方法不仅操作简便,而且可大大提高制样成功率。
关键词：薄膜;TEM;截面样品;样品制备;
