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薄膜截面的TEM样品制备

来源期刊：理化检验物理分册2006年第5期

论文作者：戴嘉维孔明

关键词：薄膜; 截面TEM样品制备; 超晶格;

摘要：针对用于透射电镜观察的截面样品制备较为困难的问题,以不锈钢基底上沉积的VN/SiO2超晶格薄膜为例,介绍了薄膜截面TEM样品的制备方法与过程.

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戴嘉维¹，孔明¹

(1.上海交通大学材料学院-Buehler公司联合实验室,上海,200030)

摘要:针对用于透射电镜观察的截面样品制备较为困难的问题,以不锈钢基底上沉积的VN/SiO2超晶格薄膜为例,介绍了薄膜截面TEM样品的制备方法与过程.

关键词:薄膜; 截面TEM样品制备; 超晶格;

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