高速钢上氮化碳薄膜附着力及其影响因素的研究
来源期刊：材料保护2005年第12期
论文作者：毕凯 陈春 刘军
关键词：磁控溅射; 氮化碳薄膜; 附着力; 影响因素;
摘 要：氮化碳(CNx)薄膜具有优异的力学性能和摩擦学性能,很适合用作耐磨保护涂层及固体润滑剂.采用磁控溅射法在高速钢(HSS)基片上制备了氮化碳薄膜,并以划痕法对其附着力进行了研究.结果表明:有TiN中间层的CNx复合薄膜比无TiN中间层的附着性能有较大的提高.CNx/TiN复合薄膜附着性能较好的主要原因是:对基片严格的清洁处理,采用磁控溅射法对基片施加了合适的负偏压,沉积了合适的中间过渡层;工艺参数合理.
毕凯1，陈春2，刘军2
(1.镇江船艇学院物理教研室,江苏,镇江,212003;
2.江苏大学材料科学与工程学院,江苏,镇江,212003)
摘要:氮化碳(CNx)薄膜具有优异的力学性能和摩擦学性能,很适合用作耐磨保护涂层及固体润滑剂.采用磁控溅射法在高速钢(HSS)基片上制备了氮化碳薄膜,并以划痕法对其附着力进行了研究.结果表明:有TiN中间层的CNx复合薄膜比无TiN中间层的附着性能有较大的提高.CNx/TiN复合薄膜附着性能较好的主要原因是:对基片严格的清洁处理,采用磁控溅射法对基片施加了合适的负偏压,沉积了合适的中间过渡层;工艺参数合理.
关键词:磁控溅射; 氮化碳薄膜; 附着力; 影响因素;
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