稀有金属 2000,(02),141-143 DOI:10.13373/j.cnki.cjrm.2000.02.014
超导磁屏蔽对高Tc -SQUID磁强计噪声的影响
王俊平 古宏伟 吴培钧 陈烈 杨涛 陈珂 陈岚峰 袁冠森
中国科学院物理研究所凝聚态物理中心国家超导实验室!北京100080
北京有色金属研究总院超导中心,北京100088
河北工业大学应用数理系,天津300130,北京有色金属研究总院超导中心!北京100088,中国科学院物理研究所凝聚态物理中心国家超导实验室!北京100080,中国科学院物理研究所?
摘 要:
在SrTiO3 (STO)双晶衬底上激光沉积YBCO超导薄膜 ,并光刻成DCSQUID ,在超导屏蔽和 μ合金屏蔽桶两种情况下 ,测量了DCSQUID磁强计的噪声 ,前种情况下的噪声只是后种情况下噪声的三分之一。
关键词:
超导量子干涉器件 ;磁强计 ;超导屏蔽 ;噪声 ;
中图分类号: TM936
作者简介: 王俊平,女,1968年生;联系地址:天津市河北工业大学文理学院物理部。;
收稿日期: 1999-01-05
Effect of Superconducting Magnetic Shield on Noise of High Tc -SQUID Magnetometer
Abstract:
Superconducting YBCO thin film was prepared on SrTiO 3 bicrystal substrate by pulse laser ablation, while DC SQUID was fabricated by lithographic technology. The noises of DC SQUID magnetometer were measured with superconducting shield and with μ metal shield respectively, and the results indicated that noise with superconducting shield is one third of that with μ metal shield.
Keyword:
DC SQUID, Magnetometer, Superconducting shield, Noise;
Received: 1999-01-05
近来,高温超导量子干涉器件得到很大的发展,特别是磁场灵敏度不断提高,发展了许多人工可控的高Tc Josephson技术,在台阶边缘结
[1 ]
、自然晶界结
[2 ]
、双晶结
[3 ]
和双外延结
[4 ]
等多种不同结型方面都取得了长足进步,器件的稳定性不断提高,噪声渐渐降低。其中在双晶衬底上制作的SQUID因制作工艺较简单、重复性好、可控性高而受到人们的重视。磁通噪声是SQUID磁强计的最重要技术指标之一。人们通常认为高Tc SQUID的噪声要比低Tc SQUID的噪声大很多。实际上,随着高Tc 薄膜质量的提高,制结工艺的改进,测量环境的改善,高Tc SQUID的噪声渐渐接近低Tc SQUID的噪声。目前,国际上采用偏置电流反转技术可使1/f噪声在1 Hz处的本征能量分辨率达10-29 J/Hz,白噪声区的本征能量分辨率可达10-30 J/Hz量级
[5 ]
,同时利用直接藕合和偏置电流反转技术可使1 Hz处磁场分辨率在77 K处可达
,相应的白噪声能量分辨率为2×10-31 J/Hz,这已和商用铌SQUID的情况相类似
[6 ]
。
本文将报道一种制备YBCO超导磁屏蔽圆筒的工艺,这种YBCO屏蔽筒不但价格便宜,而且性能优良,降低了DC SQUID磁强计的噪声,提高了系统的灵敏度。
1 双晶结DC SQUID磁强计
采用脉冲激光沉积镀膜法,在晶面夹角24°的STO双晶衬底上制备了YBCO超导膜,厚度约250nm。采用金属掩膜法,在新鲜的YBCO膜上镀上金电极膜,应用紫外曝光技术形成DC SQUID胶膜图形,用化学腐蚀的方法刻蚀掉未被胶膜掩盖的YBCO薄膜,丙酮去胶,即成YBCO薄膜DC SQUID。
DC SQUID图形如图1所示,结宽3μm,SQUID面积为30μm×30μm,包围它的垫圈(Washer)的大小为3mm×3mm的正方形。由于垫圈的面积远大于SQUID的面积,SQUID的电感可用L=1.25μ0 d(d为SQUID方形环孔的边长)来计算,得L=47.1 pH(1 pH=10-12 H),该图形具有较好的磁聚焦效果。SQUID的直流特性用四引线法测量。77 K时的临界电流为2Ic =9.2μA,薄膜跨晶界的电流密度为6.1×103 A/cm2 。
图1 DC SQUID图形
DC SQUID磁强计是在中国科学院物理研究所设计的DC SQUID磁强计基础上改造了DC SQUID传感器(探头)而成的
[7 ]
,一个μ合金屏蔽桶置于盛液氮的杜瓦瓶中,另一个μ合金屏蔽桶置于盛液氮的杜瓦瓶外,一个直径为13.3 mm的螺线管被放入内μ合金屏蔽桶内,用来校准电压磁通系数,噪声测量就是在此双层μ合金屏蔽桶中进行的。
锁定状态下,慢、中、快三挡的白噪声分别为
,一个Υ0 代表2 V,用HP35665动态分析仪测量的磁通噪声与频率的关系曲线如图2所示。在开环状态时,在77K时观察到电压随磁通周期性变化的三角波形(图2中的插图),从前级放大器输出的三角波幅度可达80 mV。
图2 磁通噪声与频率的关系曲线
由螺线管磁场标定得到的SQUID磁场量子H0 =6.7×10-8 T,由此得SQUID有效面积为Aeff =Υ0 /H0 =3.1×10-2 mm2 ,有效面积增益为g=3.1×10-2 mm2 /(30μm×30μm)=34。
2 超导磁屏蔽
作者曾测试过不同磁屏蔽下SQUID磁强计的噪声。实验表明,同一个SQUID探头,在不同磁屏蔽系统中,SQUID磁强计的噪声是不同的
[8 ]
,在低Tc SQUID磁强计系统中,多采用超导磁屏蔽,效果良好。高Tc SQUID磁强计系统中,多采用μ合金屏蔽,一个好的μ合金屏蔽筒不但价格昂贵,而且效果也不理想。曾试过两种工艺制备的YBCO屏蔽筒,效果都不太好,一是屏蔽效果与μ合金屏蔽筒差不多,二是长时间使用,磁通冻结十分厉害。最近,用一种等静压成型制备的YBCO屏蔽筒,效果十分良好。其制备工艺如下:
2.1 烧结熟粉
与烧结YBCO靶的工艺相同,把Y2 O3 、BaCO3 、CuO按钇∶钡∶铜=1∶2∶3的比例进行混合,并研磨成细粉,利用模具压制成型,然后在马弗炉中烧结24 h,温度为960℃,后缓慢降温到500℃,保温4 h后随炉冷。
2.2 超导筒的烧结
把烧好的靶研磨成细粉,装入特制的筒型模具,利用等静压成型,压强为200 MPa,把成型的YBCO筒再在960℃下烧结20 h,降温到550℃,低温处理10 h后随炉冷即成。
用这种工艺制备的YBCO屏蔽筒,质地松软,易于加工。本研究加工了一个长120 mm,内径18mm,壁厚约3 mm的圆柱形超导筒,把它用缩荃胶粘套在一个外径18 mm的黄铜套外,并在YBCO屏蔽筒外也涂上一层缩荃胶。DC SQUID磁强计在这个系统中测量的白噪声为1.1×10-5 Υ0 /Hz是只有μ合金屏蔽筒测得的噪声
的三分之一,长时间工作在液氮中,也没有出现磁通冻结现象。
3 结论
通过在超导屏蔽和μ合金屏蔽筒两种情况下DC SQUID磁强计的噪声测量得出:一个好的超导磁屏蔽的磁屏蔽性能远远优于μ合金屏蔽筒,利用它可以降低环境噪声对磁强计的影响,提高其探测的灵敏度。
参考文献
[1] Cui G et al.Supercond.Sci.Tech.,1991,4:130
[2] Chen L et al.Chin.Phys.Lett.,1993,11:132
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[4] Char K et al.Appl.Phys.Lett.,1991,59:733
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[6] Lee LP et al.Appl.Phys.Lett.,1995,66:1593
[7] 张利华,陈烈等.仪器仪表学报,1991,12(4):337
[8] 陈烈,张利华等.低温物理学报,1994,16(5):354