模拟浮法在线工艺制备多功能TiN镀膜玻璃

鲍思权^1,2，姜宏^1,3，赵会峰²，张振华³，王琦³

1. 海南省特种玻璃重点实验室海南大学2. 特种玻璃国家重点实验室海南中航特玻材料有限公司3. 海南中航特玻科技有限公司

摘 要：本文模拟浮法玻璃在线CVD镀膜工艺,利用常压化学气相沉积小型镀膜机,以TiCl₄和NH₃作为反应物前驱体,成功地在玻璃表面镀制一层TiN薄膜,获得了具有高阻隔紫外及反射红外的多功能镀膜玻璃。对其性能进行分析显示:随着反应物NH3流量的增加,TiN薄膜阻隔紫外线的性能逐渐提高,在近红外区的Drude型反射区域有所缩小,但其在高频近红外波段的反射率有所提高。当NH₃达到300sccm时,能够完全阻隔低于380nm的紫外线波段,反射红外线效果良好。随着基板移动速率的增大,在一定程度内可以提高薄膜对近红外线的反射能力,但阻隔紫外线的性能逐渐降低。

关键词：CVD镀膜工艺;化学气相沉积法;多功能镀膜玻璃;阻隔紫外线;反射红外线;