ITO靶材第二相的提取方法与分析

来源期刊：材料开发与应用2019年第1期

论文作者：杨硕 薛建强 师琳璞

文章页码：45 - 49

关键词：ITO靶材;腐蚀产物;第二相;靶材黑化;

摘    要：通过将ITO靶材粉碎、过筛后用王水长时间腐蚀的方法,提取出腐蚀产物。以进口A靶、B靶和C靶粉碎后的腐蚀产物为研究对象,通过SEM、TEM、XRD等检测手段研究3种靶材腐蚀产物的形貌、物相结构和组成成分等。结果表明,腐蚀产物均为第二相,其中A靶第二相为近似等轴体的In₄Sn₃O₁₂,B靶和C靶第二相可能同时含有近似等轴体In₄Sn₃O₁₂和"窄片"In₂SnO₅,并且A靶第二相比B靶多出约8.32%,比C靶多出约4.48%。