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碳化硅陶瓷密度对光学镜面加工质量的影响

来源期刊:稀有金属材料与工程2008年增刊第1期

论文作者:黄政仁 江东亮 刘学建 陈健 刘桂玲

关键词:碳化硅; 光学镜面加工; 加工机理;

摘    要:采用传统机械加工方法研究了碳化硅陶瓷密度对光学镜面加工质量的影响,指出碳化硅陶瓷密度对光学镜面加工质量有一定影响,但在一定密度范围内,通过改善光学镜面加工工艺均可得到较好的表面质量.通过对加工机理的分析得出,在碳化硅陶瓷光学镜面加工过程中,材料去除方式与磨粒尺寸有关,选择适当的磨粒尺寸可实现材料去除方式由晶粒去除向延性去除的转变,从而有效地降低表面粗糙度.

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碳化硅陶瓷密度对光学镜面加工质量的影响

黄政仁1,江东亮1,刘学建1,陈健1,刘桂玲1

(1.中国科学院上海硅酸盐研究所结构陶瓷工程中心,上海,200050;
2.中国科学院研究生院,北京,100049)

摘要:采用传统机械加工方法研究了碳化硅陶瓷密度对光学镜面加工质量的影响,指出碳化硅陶瓷密度对光学镜面加工质量有一定影响,但在一定密度范围内,通过改善光学镜面加工工艺均可得到较好的表面质量.通过对加工机理的分析得出,在碳化硅陶瓷光学镜面加工过程中,材料去除方式与磨粒尺寸有关,选择适当的磨粒尺寸可实现材料去除方式由晶粒去除向延性去除的转变,从而有效地降低表面粗糙度.

关键词:碳化硅; 光学镜面加工; 加工机理;

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