浅述多晶硅生产用沉积载体
来源期刊：有色冶金节能2019年第2期
论文作者：杨永亮 石何武 姜利霞 张升学
文章页码：7 - 10
关键词：多晶硅;沉积载体;硅芯;加工方式;生产成本;
摘 要：基于沉积载体硅芯的形态,介绍了圆硅芯、方硅芯和中空硅芯等3种加工方式,并从原料成本、设备折旧、能源消耗、人力成本、制造费用等关键生产要素方面对硅芯的生产成本进行估算,同时分析了硅芯的应用情况,并总结了多年来多晶硅生产实际应用的经验。
杨永亮，石何武，姜利霞，张升学
中国恩菲工程技术有限公司
摘 要：基于沉积载体硅芯的形态,介绍了圆硅芯、方硅芯和中空硅芯等3种加工方式,并从原料成本、设备折旧、能源消耗、人力成本、制造费用等关键生产要素方面对硅芯的生产成本进行估算,同时分析了硅芯的应用情况,并总结了多年来多晶硅生产实际应用的经验。
关键词：多晶硅;沉积载体;硅芯;加工方式;生产成本;
