大直径锗单晶制备工艺研究及其指标分析
来源期刊：云南冶金2016年第6期
论文作者：李宝学 赵燕 罗玉萍 孙吉单
文章页码：50 - 52
关键词：直拉法;锗单晶;工艺参数;
摘 要：采用直拉法(Czochralski method)生成了直径为100 mm、200 mm和300 mm的N型红外用锗单晶,研究了拉晶工艺参数对拉晶的影响,讨论了拉晶速度、成品率和单位质量锗单晶电耗与单晶直径的关系,并对不同直径单晶的晶帽差异进行分析。
李宝学，赵燕，罗玉萍，孙吉单
摘 要：采用直拉法(Czochralski method)生成了直径为100 mm、200 mm和300 mm的N型红外用锗单晶,研究了拉晶工艺参数对拉晶的影响,讨论了拉晶速度、成品率和单位质量锗单晶电耗与单晶直径的关系,并对不同直径单晶的晶帽差异进行分析。
关键词：直拉法;锗单晶;工艺参数;
