单晶硅\多晶硅切割废料的物性研究

来源期刊：中国有色金属2011年第S2期

论文作者：郭菁 邢鹏飞 李峰 赵培余 赵静 涂赣峰 祁阳

文章页码：460 - 462

关键词：单晶硅;多晶硅;切割废料;硅;碳化硅;

摘    要：本文对单晶硅\多晶硅切割废料的物理化学性质进行了详细研究,通过对废料的化学成分、物相组成、粒度分布及其切割废料中的主要成分的性质研究表明:切割废料的物相组成为硅、碳化硅、铁的氧化物;通过XRF分析和化学定量分析得到切割废料中主要含有34.90wt%的碳化硅、30.50wt%的硅、5.36wt%的铁元素,聚乙二醇和水的含量为26.63wt%;粒度分析结果表明,切割废料主要以细粒形式分布,粒度主要分布在1.0~23.8μm范围之内。其中范围在1.0~4.8μm的颗粒占据总体积的40%,5.0~23.8μm占据总体积的60%;通过对单晶硅\多晶硅切割废料的研究,为废料的回收利用奠定了良好的基础,为早日实现切割废料的有效回收并使之工业化提供帮助。