单晶及多晶硅切割废料中的高纯硅回收

来源期刊：材料科学与工艺2011年第4期

论文作者：郭菁 邢鹏飞 涂赣峰 祁阳

文章页码：103 - 217

关键词：单晶硅;多晶硅;切割料浆;碳化硅;聚乙二醇;高纯硅;回收;

摘    要：为提高在切割废料中高纯硅的回收率,对沉降方法和条件进行了优化.根据单/多晶硅切割废料浆的物理、化学性质,在m(水)∶m(聚乙二醇)=(8～9)∶1、含有少量无机盐的水溶液体系中,在不同沉降时间和不同固液配比的条件下进行正交试验,通过盐酸、氢氟酸进行除杂,最后在1 500～1 600℃下进行硅的铸锭.通过X射线衍射、元素分析和粒径分析研究沉降条件对于最终回收产物的影响.研究表明:在固液比为0.06、沉降时间5 h的条件下,沉降并经过除杂得到的微粉中硅质量分数达到88.52%,碳化硅质量分数为11.46%,富集的微粉经铸锭得到的硅锭纯度为98.71%,硅的回收率达到43.33%.