靶材用氧化铌粉体的制备及表征
来源期刊:粉末冶金工业2019年第2期
论文作者:高远 彭能 金明亚 唐仁衡
文章页码:16 - 20
关键词:高纯氧化铌;氢化脱氧;振实密度;靶材;
摘 要:采用酸洗除杂、氢氟酸溶解、氨水沉淀、水洗过滤、喷雾干燥,然后在氢气气氛中高温煅烧的还原脱氧工艺,制备出可用于制备靶材的铌氧化物粉体,通过差热分析、XRD、TEM、粒度分布测试等方法对产物脱水、脱氧情况,物相、颗粒大小及微观形貌进行研究,同时对粉体纯度、振实密度及氧含量进行测试。结果表明:产品颗粒呈球形,流动性好,纯度达到99.96%(质量分数)以上,振实密度1.88 g/cm~3,失氧量为粉末中总氧含量(质量)的3.3%,达到靶材原料质量要求,证明了该工艺的可行性。
高远1,彭能1,金明亚1,唐仁衡1
1. 广东省稀有金属研究所广东省稀土开发及应用重点实验室
摘 要:采用酸洗除杂、氢氟酸溶解、氨水沉淀、水洗过滤、喷雾干燥,然后在氢气气氛中高温煅烧的还原脱氧工艺,制备出可用于制备靶材的铌氧化物粉体,通过差热分析、XRD、TEM、粒度分布测试等方法对产物脱水、脱氧情况,物相、颗粒大小及微观形貌进行研究,同时对粉体纯度、振实密度及氧含量进行测试。结果表明:产品颗粒呈球形,流动性好,纯度达到99.96%(质量分数)以上,振实密度1.88 g/cm~3,失氧量为粉末中总氧含量(质量)的3.3%,达到靶材原料质量要求,证明了该工艺的可行性。
关键词:高纯氧化铌;氢化脱氧;振实密度;靶材;