Ru-Cr下底层成分对Co-W磁性薄膜结构和磁性能的影响
来源期刊：材料研究学报2014年第7期
论文作者：王建军 高崇 刘春明
文章页码：515 - 520
关键词：金属材料;Co-W磁性薄膜;XRD;晶体结构;磁各向异性能;
摘 要：用直流磁控溅射在300℃不同Ru-x%Cr（x=0,20,40）下底层沉积制备了Co-15%W（原子分数）磁性薄膜。用XRD表征了薄膜的精细晶体结构,分析了Co-W和Ru-Cr层的取向关系,估算了薄膜层的晶格常数、c轴分散角、fcc/hcp体积百分比和堆垛层错密度值。结果表明,随着Ru-Cr下底层Cr成分的增加Co-W磁性层和Ru-Cr下底层间的晶格错配度降低,hcp-Co的晶格常数比c/a随之减小。磁性能测试结果证实,由于Co-W磁性层中晶格常数比c/a的减小磁性层的磁各向异性能显著提高。
王建军1,2，高崇2，刘春明1,2
1. 东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室2. 东北大学材料与冶金学院
摘 要：用直流磁控溅射在300℃不同Ru-x%Cr（x=0,20,40）下底层沉积制备了Co-15%W（原子分数）磁性薄膜。用XRD表征了薄膜的精细晶体结构,分析了Co-W和Ru-Cr层的取向关系,估算了薄膜层的晶格常数、c轴分散角、fcc/hcp体积百分比和堆垛层错密度值。结果表明,随着Ru-Cr下底层Cr成分的增加Co-W磁性层和Ru-Cr下底层间的晶格错配度降低,hcp-Co的晶格常数比c/a随之减小。磁性能测试结果证实,由于Co-W磁性层中晶格常数比c/a的减小磁性层的磁各向异性能显著提高。
关键词：金属材料;Co-W磁性薄膜;XRD;晶体结构;磁各向异性能;
