高温ITO薄膜应变计制备及压阻性能

杨伸勇¹，张丛春¹，杨卓青¹，李红芳¹，姚锦元¹，黄漫国²，汪红¹，丁桂甫¹

1. 上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室2. 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所

摘 要：高温薄膜应变计被广泛应用于极端条件热端构件的应变测量。ITO薄膜应变计通常能够应用于1000℃以上的应变测量,为了研究ITO薄膜的显微结构、XPS光谱、阻温特性及压阻响应,采用磁控溅射在陶瓷基底上制备了ITO薄膜应变计,并在高温纯N₂中热处理ITO薄膜。结果表明,其电阻温度系数稳定在-750×10^-6℃^-1,在1200℃下测试其应变特性,测得电阻漂移率为0.0018 h^-1,应变因子为16。ITO薄膜在高温下具有稳定的电阻温度系数和低漂移率,为高温端部件应变的测量提供了可能。

关键词：ITO薄膜应变计;热处理;高温应变测量;电阻温度系数;