真空阴极电弧沉积(Ti,Al)N薄膜的应用研究
来源期刊：机械工程材料2001年第8期
论文作者：付志强 袁镇海 林松盛 蔡育平
关键词：真空阴极电弧沉积; (Ti,Al)N涂层; 涂层刀具;
摘 要：为了提高TiN涂层刀具的耐磨性,采用钛铝合金靶,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层.对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究,并试验了(Ti,Al)N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命.结果表明:(Ti,Al)N涂层硬度高达HV0.1,153700,(Ti,Al)N涂层使高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命显著提高.
付志强1，袁镇海1，林松盛1，蔡育平1
(1.广州有色金属研究院,)
摘要:为了提高TiN涂层刀具的耐磨性,采用钛铝合金靶,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层.对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究,并试验了(Ti,Al)N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命.结果表明:(Ti,Al)N涂层硬度高达HV0.1,153700,(Ti,Al)N涂层使高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命显著提高.
关键词:真空阴极电弧沉积; (Ti,Al)N涂层; 涂层刀具;
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