ZnO薄膜气相法制备
来源期刊：材料导报2011年第19期
论文作者：鲁俊雀 王秀峰 伍媛婷 许雅琴
文章页码：64 - 67
关键词：氧化锌薄膜;ZnO薄膜;气相法;
摘 要：ZnO薄膜具有压电、光电、压敏、气敏、发光等多种特性,应用十分广泛。介绍了ZnO薄膜气相法制备原理中的各类主要方法,包括脉冲激光沉积、磁控溅射、分子束外延、金属有机化合物化学气相沉积、单源化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积等技术;分析了这些方法的优缺点;展望了ZnO薄膜今后的研究方向。
鲁俊雀，王秀峰，伍媛婷，许雅琴
陕西科技大学材料科学与工程学院
摘 要：ZnO薄膜具有压电、光电、压敏、气敏、发光等多种特性,应用十分广泛。介绍了ZnO薄膜气相法制备原理中的各类主要方法,包括脉冲激光沉积、磁控溅射、分子束外延、金属有机化合物化学气相沉积、单源化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积等技术;分析了这些方法的优缺点;展望了ZnO薄膜今后的研究方向。
关键词：氧化锌薄膜;ZnO薄膜;气相法;
