TiAlSiN/TiAlAgN/Ti（Mo）N-MoS2多层涂层的微观结构及摩擦学性能
来源期刊：腐蚀与防护2020年第9期
论文作者：王泽勇 冯长杰 赵岩
文章页码：72 - 77
关键词：磁控溅射;电弧离子镀;多层涂层;MoS2;固体润滑剂;
摘 要：采用Ti40Al20Si10、Ti48Al50Ag2和Ti-MoS2靶,制备了TiAlSiN/TiAlAgN/Ti（Mo）N-MoS2多层涂层。通过扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、显微硬度计、球-盘式摩擦磨损试验机以及表面轮廓仪研究了涂层的表面形貌、微观结构、硬度和摩擦学性能。结果表明:制备的多层涂层中含0.62%（原子分数,下同）Mo,0.77%Ag和30.05%Ti,厚度约为3μm,硬度为21.09GPa。涂层在不同温度条件下的磨损机制主要为黏着磨损,室温条件下参与润滑的物质为Si2·H2O水膜、MoS2以及少量的Ag;200℃时的为Ag和MoS2;400℃时的为MoS2和大量Ag;600℃时的为Ag、Al2O3和SiO2。涂层在室温、200℃、400℃、600℃下的磨损率分别为0.051 7×10-3,0.162 8×10-3,0.108 0×10-3,0.130 7×10-3 mm3/（N·m）。TiAlSiN/TiAlAgN/Ti（Mo）N-MoS2多层涂层在400℃下具有较好的摩擦学性能。
王泽勇，冯长杰，赵岩
南昌航空大学材料学院
摘 要：采用Ti40Al20Si10、Ti48Al50Ag2和Ti-MoS2靶,制备了TiAlSiN/TiAlAgN/Ti（Mo）N-MoS2多层涂层。通过扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、显微硬度计、球-盘式摩擦磨损试验机以及表面轮廓仪研究了涂层的表面形貌、微观结构、硬度和摩擦学性能。结果表明:制备的多层涂层中含0.62%（原子分数,下同）Mo,0.77%Ag和30.05%Ti,厚度约为3μm,硬度为21.09GPa。涂层在不同温度条件下的磨损机制主要为黏着磨损,室温条件下参与润滑的物质为Si2·H2O水膜、MoS2以及少量的Ag;200℃时的为Ag和MoS2;400℃时的为MoS2和大量Ag;600℃时的为Ag、Al2O3和SiO2。涂层在室温、200℃、400℃、600℃下的磨损率分别为0.051 7×10-3,0.162 8×10-3,0.108 0×10-3,0.130 7×10-3 mm3/（N·m）。TiAlSiN/TiAlAgN/Ti（Mo）N-MoS2多层涂层在400℃下具有较好的摩擦学性能。
关键词：磁控溅射;电弧离子镀;多层涂层;MoS2;固体润滑剂;
