γ-TiAl合金表面磁控溅射与电弧离子镀制备Al涂层高温氧化行为的比较（英文）

来源期刊：稀有金属材料与工程2014年第11期

论文作者：徐一 缪强 梁文萍 王玲 于修水 任蓓蕾 姚正军

文章页码：2652 - 2656

关键词：磁控溅射;电弧离子镀;Al涂层;抗氧化性能;

摘    要：利用XRD、EDS和SEM分析研究了磁控溅射和电弧离子镀2种工艺制备的Al涂层的微观结构、形貌和抗氧化性能。磁控溅射技术制备的均匀、致密的Al层拥有更为细小的晶粒组织。在氧化实验后,磁控溅射制备的Al涂层形成了一个由表层氧化层、次表层富Al层和互扩散层的保护性结构。相比之下,电弧离子镀制备的Al涂层表现出了更差的抗氧化性。这是由于在离子镀制备的Al涂层中发现的针孔可以为氧气的侵入提供通道,从而引起涂层的内氧化并最终导致涂层的剥离。结果表明,磁控溅射制备Al涂层具备更好的抗高温氧化性能。