自动控径单晶炉控温方式的研究
来源期刊：世界有色金属2019年第8期
论文作者：金宁昌
文章页码：254 - 256
关键词：单晶炉;热电偶;功率;模拟量;
摘 要：中频感应加热单晶炉生长晶体一般采用铱-铱铑热电偶测温,通过3504过程控制器控制电源输出功率实现自动控温,但生产实践中往往出现热偶测温点松动、断裂以及冷点漂移等诸多问题使炉温波动而严重影响生产的进行,本文介绍了采用中频电源功率模拟量控制的方法,能够避免上述情况的发生,有效的提高了晶体的生长质量和效率。
金宁昌
广州半导体材料研究所
摘 要：中频感应加热单晶炉生长晶体一般采用铱-铱铑热电偶测温,通过3504过程控制器控制电源输出功率实现自动控温,但生产实践中往往出现热偶测温点松动、断裂以及冷点漂移等诸多问题使炉温波动而严重影响生产的进行,本文介绍了采用中频电源功率模拟量控制的方法,能够避免上述情况的发生,有效的提高了晶体的生长质量和效率。
关键词：单晶炉;热电偶;功率;模拟量;
