低介电常数聚酰亚胺材料制备的研究进展
来源期刊：绝缘材料2010年第2期
论文作者：金鸿 陈森 赵春宝 赵玮
关键词：聚酰亚胺; 介电常数; 制备方法; 进展;
摘 要：综述了近年来国内外低介电常数聚酰亚胺材料的制备方法,重点讨论多面体低聚倍半硅氧烷(POSS)和介孔氧化硅在降低聚酰亚胺介电常数方面的应用,并对低介电常数聚酰亚胺材料的发展前景进行了展望.
金鸿1，陈森1，赵春宝1，赵玮1
(1.南京信息职业技术学院,微电子学院,南京210046)
摘要:综述了近年来国内外低介电常数聚酰亚胺材料的制备方法,重点讨论多面体低聚倍半硅氧烷(POSS)和介孔氧化硅在降低聚酰亚胺介电常数方面的应用,并对低介电常数聚酰亚胺材料的发展前景进行了展望.
关键词:聚酰亚胺; 介电常数; 制备方法; 进展;
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