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低介电常数聚合物材料的研究进展

来源期刊：高分子材料科学与工程2004年第4期

论文作者：袭锴贾叙东徐丹

关键词：低介电常数; 聚合物; 纳米孔; 聚硅氧烷;

摘要：综述了低介电常数(low-k)材料研究的基本情况,以及可用于微电子领域的低介电常数聚合物材料,包括材料的化学结构和基本物理性质.并着重介绍了带有纳米孔的超低介电常数材料的研究进展.同时,对低介电常数材料的制备工艺也进行了简要的总结.

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袭锴¹，贾叙东¹，徐丹¹

(1.南京大学高分子科学与工程系,江苏,南京,210093)

摘要:综述了低介电常数(low-k)材料研究的基本情况,以及可用于微电子领域的低介电常数聚合物材料,包括材料的化学结构和基本物理性质.并着重介绍了带有纳米孔的超低介电常数材料的研究进展.同时,对低介电常数材料的制备工艺也进行了简要的总结.

关键词:低介电常数; 聚合物; 纳米孔; 聚硅氧烷;

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