我国环形金刚石线锯技术在创新中发展

来源期刊：超硬材料工程2018年第5期

论文作者：郑超

文章页码：55 - 62

关键词：环形金刚石线;切割机;单晶硅;多晶硅;蓝宝石;人工晶体;截断机开方机;

摘    要：近十年来,国产金刚石长线锯在单晶硅、多晶硅切片开方以及蓝宝石切片方面获得迅速发展,同时环形金刚石线锯也悄然紧隨其后,依靠线速度快,切割效率高,配套设备结构简单的独特优势,国内几家超硬材料工具企业大力投入,努力创新,并成功地应用到国产大型KDP晶体切割(切宽1000mm)、大型LBO晶体切割、多晶硅截断开方、蓝宝石薄片切割(切宽150～220mm)和各种靶材切割等诸多方面。尤其用于多晶硅截断的环线截断机,今年初已经小批量应用到江浙一带的代工厂中。切割量虽然不多,却初显在多晶硅、单晶硅贵重材料切割方面的独特优势。与其配套的线切割机也从单一的立式机发展到诸多品种。