线锯切技术发展状况
来源期刊：超硬材料工程2013年第2期
论文作者：谈耀麟
文章页码：44 - 48
关键词：线锯切技术;游离磨料线锯;树脂粘结金刚石线锯;电镀金刚石线锯;浸渍金刚石线锯;发展;技术规格;
摘 要：回顾线锯切技术发展的历史背景。分析了在半导体工业中锯切硅晶锭使用的超薄金刚石内圆锯片的优缺点。阐述游离磨料线锯的产生及其与超薄金刚石内圆锯片的性能对比以及游离磨料线锯在使用中的局限性。文章还介绍了固结磨料线锯中磨料的一些固结方式,并详细阐述当前先进的树脂粘结金刚石线锯和电镀金刚石线锯以及浸渍金刚石线锯的技术规格和技术性能。
谈耀麟
中国有色桂林矿产地质研究院有限公司
摘 要：回顾线锯切技术发展的历史背景。分析了在半导体工业中锯切硅晶锭使用的超薄金刚石内圆锯片的优缺点。阐述游离磨料线锯的产生及其与超薄金刚石内圆锯片的性能对比以及游离磨料线锯在使用中的局限性。文章还介绍了固结磨料线锯中磨料的一些固结方式,并详细阐述当前先进的树脂粘结金刚石线锯和电镀金刚石线锯以及浸渍金刚石线锯的技术规格和技术性能。
关键词：线锯切技术;游离磨料线锯;树脂粘结金刚石线锯;电镀金刚石线锯;浸渍金刚石线锯;发展;技术规格;
